多晶硅技術(shù)進(jìn)步顯著 產(chǎn)業(yè)發(fā)展有過(guò)熱之虞（二）
http://www.hxud.cn 2009-01-04 14:50 中企顧問(wèn)網(wǎng)
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中國(guó)企業(yè)步入世界大廠行列
中硅高科建有兩個(gè)多晶硅生產(chǎn)廠(偃師工廠、洛陽(yáng)工廠)和一個(gè)省級(jí)多晶硅工程技術(shù)研發(fā)中心。中硅高科產(chǎn)業(yè)化發(fā)展理念是：安全、環(huán)保、長(zhǎng)治久安，產(chǎn)量、質(zhì)量、達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo)，節(jié)能、降耗、良好效益，使用、操作、維護(hù)方便。
2006年，中硅高科的多晶硅產(chǎn)量為187噸，占全國(guó)總產(chǎn)量的65%，2007年，多晶硅產(chǎn)量506噸，占全國(guó)總產(chǎn)量的45%，連續(xù)兩年位居全國(guó)首位。預(yù)計(jì)2008年多晶硅產(chǎn)量1000噸，產(chǎn)量進(jìn)入世界大廠行列。
目前，中硅高科生產(chǎn)的多晶硅部分產(chǎn)品已達(dá)到：P型電阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型電阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子壽命300μs-1250μs，質(zhì)量穩(wěn)定。
中硅高科多晶硅產(chǎn)業(yè)規(guī)劃分5期建設(shè)。一期：年產(chǎn)多晶硅300噸項(xiàng)目，2005年建成，已達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo)，該項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2005年重點(diǎn)行業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整支持項(xiàng)目；二期：年產(chǎn)多晶硅700噸項(xiàng)目，2007年建成，已穩(wěn)定生產(chǎn)，該項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2006年新能源等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專項(xiàng)支持項(xiàng)目。以上兩個(gè)項(xiàng)目多晶硅副產(chǎn)物綜合利用生產(chǎn)2000噸/年氣相二氧化硅項(xiàng)目正在實(shí)施過(guò)程中。三期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目，2008年建成，已穩(wěn)定生產(chǎn)，此項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2007年支持高純硅材料等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專項(xiàng)；四期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目，主體結(jié)構(gòu)工程已封頂，預(yù)計(jì)2009年建成投產(chǎn)；五期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目將于2010年建成。總規(guī)模：合成三氯氫硅1萬(wàn)噸/年，多晶硅8000噸/年，氣相二氧化硅4000噸/年，單條生產(chǎn)線達(dá)到國(guó)際公認(rèn)經(jīng)濟(jì)規(guī)模。
中硅高科建立了國(guó)內(nèi)首個(gè)多晶硅企業(yè)工程技術(shù)研究中心，國(guó)內(nèi)首個(gè)省級(jí)多晶硅工程技術(shù)中心，已運(yùn)行兩年。中硅高科現(xiàn)針對(duì)多晶硅生產(chǎn)各主要環(huán)節(jié)建立6個(gè)研究平臺(tái)和1個(gè)檢測(cè)中心，解決了制約多晶硅材料大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的技術(shù)瓶頸，堅(jiān)持“產(chǎn)學(xué)研”結(jié)合，培養(yǎng)、凝聚研發(fā)人才，形成持續(xù)研發(fā)能力。檢測(cè)中心建設(shè)采用國(guó)際多晶硅檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)與方法，配備國(guó)際先進(jìn)水平的檢測(cè)儀器，面向我國(guó)多晶硅全行業(yè)，服務(wù)全行業(yè)。
相關(guān)鏈接
自主研發(fā)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)
中硅高科采用的是“物料內(nèi)部循環(huán)、能量綜合利用”工藝，從根本上解決環(huán)境污染問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。
中硅高科采用“物料閉路循環(huán)、能量綜合利用”的方法生產(chǎn)多晶硅。中硅高科自主研發(fā)技術(shù)，包括：大型還原爐、氫化和尾氣干法回收技術(shù)為核心的產(chǎn)業(yè)化集成工藝、成套設(shè)備和全自動(dòng)控制系統(tǒng)。
主要包括如下內(nèi)容：
1.12對(duì)棒節(jié)能型多晶硅還原爐技術(shù)
單爐產(chǎn)量1400kg，電耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300噸/年試驗(yàn)線，全自動(dòng)控制，已穩(wěn)定生產(chǎn)。
2.24對(duì)棒大型節(jié)能多晶硅還原爐
單爐產(chǎn)量4000kg，電耗160kWh/kg，2007年3月鑒定，已用于700噸/年項(xiàng)目，全自控，穩(wěn)產(chǎn)。
3.大型高效加壓還原技術(shù)
單爐產(chǎn)量5000kg，電耗100kWh/kg～120kWh/kg，加壓操作，全自動(dòng)控制。設(shè)備已安裝在三期工程中，正在運(yùn)行考核。
4.大型低溫加壓SiCl4氫化技術(shù)轉(zhuǎn)化副產(chǎn)物SiCl4，處理能力5000kg/h以上，在運(yùn)行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提純工藝合成設(shè)備單套能力5000噸以上、產(chǎn)物加壓分離、尾氣干法回收；SiHCl3提純采用大型加壓、高溫、高效提純塔，滿足電子級(jí)高純硅用原料，在運(yùn)行考核中。
6.大型全自控還原尾氣干法回收技術(shù)
尾氣處理能力7200m3/h以上，各組分回收率達(dá)到98%以上，已穩(wěn)定運(yùn)行。
7.多晶硅副產(chǎn)物綜合回收技術(shù)
將副產(chǎn)品SiCl4等轉(zhuǎn)化為氣相SiO2，SiCl4處理能力6000噸/年以上，氣相SiO22000噸/年，正在實(shí)施過(guò)程中。
8.超高純硅材料后處理
已研發(fā)和正在研發(fā)的技術(shù)覆蓋多晶硅生產(chǎn)全過(guò)程，形成多晶硅大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的技術(shù)體系。
中硅高科建有兩個(gè)多晶硅生產(chǎn)廠(偃師工廠、洛陽(yáng)工廠)和一個(gè)省級(jí)多晶硅工程技術(shù)研發(fā)中心。中硅高科產(chǎn)業(yè)化發(fā)展理念是：安全、環(huán)保、長(zhǎng)治久安，產(chǎn)量、質(zhì)量、達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo)，節(jié)能、降耗、良好效益，使用、操作、維護(hù)方便。
2006年，中硅高科的多晶硅產(chǎn)量為187噸，占全國(guó)總產(chǎn)量的65%，2007年，多晶硅產(chǎn)量506噸，占全國(guó)總產(chǎn)量的45%，連續(xù)兩年位居全國(guó)首位。預(yù)計(jì)2008年多晶硅產(chǎn)量1000噸，產(chǎn)量進(jìn)入世界大廠行列。
目前，中硅高科生產(chǎn)的多晶硅部分產(chǎn)品已達(dá)到：P型電阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型電阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子壽命300μs-1250μs，質(zhì)量穩(wěn)定。
中硅高科多晶硅產(chǎn)業(yè)規(guī)劃分5期建設(shè)。一期：年產(chǎn)多晶硅300噸項(xiàng)目，2005年建成，已達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo)，該項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2005年重點(diǎn)行業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整支持項(xiàng)目；二期：年產(chǎn)多晶硅700噸項(xiàng)目，2007年建成，已穩(wěn)定生產(chǎn)，該項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2006年新能源等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專項(xiàng)支持項(xiàng)目。以上兩個(gè)項(xiàng)目多晶硅副產(chǎn)物綜合利用生產(chǎn)2000噸/年氣相二氧化硅項(xiàng)目正在實(shí)施過(guò)程中。三期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目，2008年建成，已穩(wěn)定生產(chǎn)，此項(xiàng)目是國(guó)家發(fā)改委2007年支持高純硅材料等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專項(xiàng)；四期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目，主體結(jié)構(gòu)工程已封頂，預(yù)計(jì)2009年建成投產(chǎn)；五期：年產(chǎn)多晶硅2000噸項(xiàng)目將于2010年建成。總規(guī)模：合成三氯氫硅1萬(wàn)噸/年，多晶硅8000噸/年，氣相二氧化硅4000噸/年，單條生產(chǎn)線達(dá)到國(guó)際公認(rèn)經(jīng)濟(jì)規(guī)模。
中硅高科建立了國(guó)內(nèi)首個(gè)多晶硅企業(yè)工程技術(shù)研究中心，國(guó)內(nèi)首個(gè)省級(jí)多晶硅工程技術(shù)中心，已運(yùn)行兩年。中硅高科現(xiàn)針對(duì)多晶硅生產(chǎn)各主要環(huán)節(jié)建立6個(gè)研究平臺(tái)和1個(gè)檢測(cè)中心，解決了制約多晶硅材料大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的技術(shù)瓶頸，堅(jiān)持“產(chǎn)學(xué)研”結(jié)合，培養(yǎng)、凝聚研發(fā)人才，形成持續(xù)研發(fā)能力。檢測(cè)中心建設(shè)采用國(guó)際多晶硅檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)與方法，配備國(guó)際先進(jìn)水平的檢測(cè)儀器，面向我國(guó)多晶硅全行業(yè)，服務(wù)全行業(yè)。
相關(guān)鏈接
自主研發(fā)的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)
中硅高科采用的是“物料內(nèi)部循環(huán)、能量綜合利用”工藝，從根本上解決環(huán)境污染問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)。
中硅高科采用“物料閉路循環(huán)、能量綜合利用”的方法生產(chǎn)多晶硅。中硅高科自主研發(fā)技術(shù)，包括：大型還原爐、氫化和尾氣干法回收技術(shù)為核心的產(chǎn)業(yè)化集成工藝、成套設(shè)備和全自動(dòng)控制系統(tǒng)。
主要包括如下內(nèi)容：
1.12對(duì)棒節(jié)能型多晶硅還原爐技術(shù)
單爐產(chǎn)量1400kg，電耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300噸/年試驗(yàn)線，全自動(dòng)控制，已穩(wěn)定生產(chǎn)。
2.24對(duì)棒大型節(jié)能多晶硅還原爐
單爐產(chǎn)量4000kg，電耗160kWh/kg，2007年3月鑒定，已用于700噸/年項(xiàng)目，全自控，穩(wěn)產(chǎn)。
3.大型高效加壓還原技術(shù)
單爐產(chǎn)量5000kg，電耗100kWh/kg～120kWh/kg，加壓操作，全自動(dòng)控制。設(shè)備已安裝在三期工程中，正在運(yùn)行考核。
4.大型低溫加壓SiCl4氫化技術(shù)轉(zhuǎn)化副產(chǎn)物SiCl4，處理能力5000kg/h以上，在運(yùn)行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提純工藝合成設(shè)備單套能力5000噸以上、產(chǎn)物加壓分離、尾氣干法回收；SiHCl3提純采用大型加壓、高溫、高效提純塔，滿足電子級(jí)高純硅用原料，在運(yùn)行考核中。
6.大型全自控還原尾氣干法回收技術(shù)
尾氣處理能力7200m3/h以上，各組分回收率達(dá)到98%以上，已穩(wěn)定運(yùn)行。
7.多晶硅副產(chǎn)物綜合回收技術(shù)
將副產(chǎn)品SiCl4等轉(zhuǎn)化為氣相SiO2，SiCl4處理能力6000噸/年以上，氣相SiO22000噸/年，正在實(shí)施過(guò)程中。
8.超高純硅材料后處理
已研發(fā)和正在研發(fā)的技術(shù)覆蓋多晶硅生產(chǎn)全過(guò)程，形成多晶硅大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的技術(shù)體系。
